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CNEWS匯流新聞網記者謝東明、李盛雯／台北報導

半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技（TWSE：3055）攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。蔚華科技表示，採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助於改善製程。

蔚華科技強調，若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠，省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。

蔚華科技表示，在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC晶片需求迅速爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。

化合物半導體的基板材料品質，決定下游晶片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC晶片製程成本居高不下，目前全球主要基板廠，皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業布局以搶攻市占率。

基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善製程、提升良率，進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢。

南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術，只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。

蔚華科技總經理楊燿州表示，考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，不斷加強投資自有產品開發，以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過併購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。

楊燿州指出，除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。

照片來源：CNEWS匯流新聞網資料照片

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