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業界首創非破壞性SiC缺陷檢測系統　搶攻化合物半導體商機

CNEWS匯流新聞網記者謝東明、李盛雯／台北報導 半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技（TWSE：3055）攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。蔚華科技表示，採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有…